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SIGMAKOKI西格瑪光機(jī)10nm分辨率閉環(huán)控制平臺
產(chǎn)品型號：NFS120-100PX
產(chǎn)品品牌：SIGMAKOKI西格瑪光機(jī)
產(chǎn)品介紹：

使用5相步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動的高分辨率閉環(huán)控制平臺，內(nèi)置光柵尺，具有高重復(fù)定位精度和高分辨率。 10nm分辨率的平臺有8種臺面尺寸可供選擇。
詳細(xì)介紹
SIGMAKOKI西格瑪光機(jī)10nm分辨率閉環(huán)控制平臺 / NFS120-100PX

使用5相步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動的高分辨率閉環(huán)控制平臺，經(jīng)CE和UKCA認(rèn)證。內(nèi)置光柵尺，具有高重復(fù)定位精度和高分辨率。
10nm分辨率的平臺有8種臺面尺寸可供選擇。

由于采用滾珠絲杠驅(qū)動，與壓電平臺相比，可移動距離較長，有各種行程和臺面尺寸可供選擇。
從提高可用性的觀點(diǎn)出發(fā)，實(shí)現(xiàn)了基于AutoConfig功能的平臺分辨率自動識別。
提供NFS系列閉環(huán)控制平臺用控制器SHRC-203。

※1連接到SHR控制器后，AutoConfig功能自動設(shè)定分辨率。
※2 啟用多點(diǎn)糾錯功能時的數(shù)值。
※3 在微小范圍內(nèi)進(jìn)行重復(fù)定位精度測量（ISO）所得到的結(jié)果。?NFS-PX系列10nm閉環(huán)控制平臺測量步長（間距）：50nm

注意
請在溫度變化幅度不大的環(huán)境中使用。（推薦：23±1℃）
請盡量在振動較小的環(huán)境中使用?；虿扇∫欢ǖ姆勒翊胧?。
請在沒有油霧的環(huán)境中使用。光柵尺如果被污染的話可能會產(chǎn)生誤差。