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Otsuka大塚Load Port對(duì)應(yīng)膜厚測(cè)量系統(tǒng)
產(chǎn)品型號(hào)： GS-300
產(chǎn)品品牌：Otsuka大塚
產(chǎn)品介紹：

產(chǎn)品信息 特點(diǎn) 支持集成到 Φ300mm EFEM 單元的備用端口 實(shí)現(xiàn)嵌入在晶片中的布線(xiàn)圖案的圖案對(duì)齊 支持半導(dǎo)體工藝的高吞吐量要求 支持槽口對(duì)齊功能 小尺寸規(guī)格 高精度自動(dòng)校準(zhǔn)單元 自動(dòng)
詳細(xì)介紹
Load Port對(duì)應(yīng)膜厚測(cè)量系統(tǒng) GS-300

產(chǎn)品信息 特點(diǎn) 支持集成到 Φ300mm EFEM 單元的備用端口 實(shí)現(xiàn)嵌入在晶片中的布線(xiàn)圖案的圖案對(duì)齊 支持半導(dǎo)體工藝的高吞吐量要求 支持槽口對(duì)齊功能 小尺寸規(guī)格 高精度自動(dòng)校準(zhǔn)單元 自動(dòng)...



產(chǎn)品信息

  特點(diǎn)

● Φ支持到300mmEFM單元備用端口的集成

● 實(shí)現(xiàn)嵌入在晶片中的布線(xiàn)圖案的圖案對(duì)齊

● 支持半導(dǎo)體工藝的高吞吐量要求

● 支持槽口對(duì)齊功能

● 小尺寸規(guī)格

● 高精度自動(dòng)校準(zhǔn)單元


  測(cè)量示例

TSV嵌入式圖形晶圓研磨后的硅厚度

晶圓厚度Φ300mm尺寸
規(guī)格