ACCRETECH探測機(jī)AP3000/AP3000e系列
特征
AP3000/AP3000e 是下*代超高性能探測機(jī),旨在實現(xiàn)高精度、高吞吐量(索引移動、晶圓處理和晶圓對齊)、低振動和低噪音。
Anti-Virus/Anti-Malware 軟件作為標(biāo)準(zhǔn)軟件安裝在機(jī)器上。
AP3000/AP3000e 的功能和可操作性繼承了以前的型號,并保持了配方和地圖數(shù)據(jù)的兼容性。考慮到**性,它非常用戶友好。
選項
針頭清洗(清洗晶圓或清洗單元)
風(fēng)扇過濾器單元(微型環(huán)境)
高頻夾具/機(jī)械手,測試儀接口
裝載機(jī):2 臺裝載機(jī) / AMHS 自動化
頭臺傾斜(探針卡傾斜)
Chuck:環(huán)境/熱溫度。/ 低溫。/低噪聲
APC:自動探針卡交換
磁帶 ID 讀取
晶圓 ID 讀?。斆?背面)
GB-IB接口
探測網(wǎng)絡(luò)(Veganet、Light-Veganet、Vega-Planet、GEM)
PCAS(探針卡自動設(shè)置)
探針卡PGV
大范圍
200 mm(水平方向)和 13 mm(垂直方向)的寬測量范圍
也可提供電動傾斜裝置,可傾斜至 45°。(SURFCOM CREST-T)
晶圓制造
ACCRETECH-TOKYO SEIMITSU 主要從事銷售:晶圓切片機(jī)等設(shè)備,將硅晶錠切割成稱為晶圓的硅襯底,并在其上進(jìn)行半導(dǎo)體加工;以及對晶片邊緣進(jìn)行倒角的晶片邊緣研磨機(jī)。
前端
半導(dǎo)體制造商 70% 以上的投資投入到半導(dǎo)體生產(chǎn)中必不可少的前端或晶圓加工。Tokyo Seimitsu 通過支持**測試和后端設(shè)備,并提供前端設(shè)備(如 CMP 等平面化晶圓表面的設(shè)備),在此過程中擁有久經(jīng)考驗的經(jīng)驗。
晶圓測試
在晶圓測試中,我們的探測機(jī)可對晶圓上各種器件的電氣特性進(jìn)行 100% 檢測。
后端
后端處理是指組裝和*終測試。ACCRETECH-TOKYO SEIMITSU 制造和銷售在單*設(shè)備中結(jié)合了******的晶圓厚度和損傷去除功能的拋光研磨機(jī),用于背面研磨工藝以拋光晶圓背面。我們亦從事晶圓切割機(jī)的制造及銷售,以將具有微觀電路圖案的晶圓切割成單個芯片。