華東供應(yīng)國(guó)內(nèi)總代日本浙江總代ULVAC愛發(fā)科皮拉尼真空計(jì)SP1 國(guó)內(nèi)各區(qū)域均有售 

真空計(jì)

ULVAC真空計(jì)是基于在真空領(lǐng)域的豐富技術(shù)和經(jīng)驗(yàn)而開發(fā)的。 從皮拉尼真空計(jì)到電離真空計(jì)，再到極高真空計(jì)，從大氣壓到極高真空計(jì)（10^-12我們擁有適用于PA所有領(lǐng)域、條件和應(yīng)用的真空計(jì)產(chǎn)品陣容。

傳感器單元（SP1）是G-TRAN系列的皮拉尼真空計(jì)型測(cè)量單元。
傳感器單元具有測(cè)量元件和電路集成在一起的結(jié)構(gòu)（測(cè)量元件可以更換），使其成為適合降低成本和節(jié)省空間的真空計(jì)。

長(zhǎng)處

• 傳感器規(guī)格：當(dāng)不需要壓力指示器時(shí)，降低了真空計(jì)的成本，減少了控制面板周圍的
  空間，
  減少了
  
  布線。
• 易于更換測(cè)量元件
• 燈絲材料為鉑金，具有很強(qiáng)的耐腐蝕性。
• 到目前為止，您一直在使用的測(cè)量元件（SP1：WP-01、02、03、16）可以按原樣使用。
• 能夠輸出 2 個(gè)設(shè)定值
• SP1：壓力為0~5V輸出（非線性輸出）
• 電源電壓：可采用24V直流輸入

用

• 用于半導(dǎo)體和電子元件等各種制造設(shè)備的低真空范圍的過程控制
• 用于熔爐和其他工業(yè)設(shè)備的低真空范圍的過程控制
• 用于具有許多工藝室的各種制造設(shè)備的低真空范圍的工藝控制，例如在線和單晶圓

類型	傳感器單元
型	SP1系列
自適應(yīng)測(cè)量元件	WP-01、WP-02、WP-03、WP-16
測(cè)量精度	±15 %（51 Pa ~760 Pa）
	±30 %（10 Pa ~1000 Pa）
	±50 %（0.4 Pa ~3000 Pa）
工作溫度范圍	10~40°攝氏度
采樣時(shí)間	50ms 5 移動(dòng)平均處理
測(cè)量值輸出	非線性輸出：DC0-5V（*大10V）
	（更新時(shí)間） 50 ms
	（分辨率） 10 mV
設(shè)定值 1/2 調(diào)整輸出	非線性輸出：DC 0-5V（*大10V）
控制輸出信號(hào)	集電極開路，負(fù)邏輯
	錯(cuò)誤信號(hào)
	設(shè)定值 1/2
LED指示	電源，錯(cuò)誤，設(shè)定值 1/2
電源電壓	DC24V±2V， 90mA（Max.）
輸入/輸出連接器	D-sub-15P（M2.6螺絲）
體重	190g（不含測(cè)量元件）
附屬品	1 組 I/O 連接器
	快速手冊(cè)（1份）

IO 和模擬 GND 以及電源 GND 不是隔離的。