浙江供應(yīng)Tokyo keiso東京計裝浮子流量計P-810 各區(qū)域供應(yīng)
*適合于半導(dǎo)體制造工藝中的各種氣體流量測控。采用外周密封方式取得了好評。目前已被廣泛應(yīng)用于各種裝置上,另外也供應(yīng)電解研磨處理、低泄漏的高品質(zhì)類型產(chǎn)品。
半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備中的氣體流量測控,防泄漏要求高的生產(chǎn)線。
測量對象 | 全部液體,全部氣體 | ||
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流量范圍 | 空氣 | *小范圍:5~50L/min(nor) | |
*大范圍:6~60L/min(nor) | |||
水 | *小范圍:5~50mL/min | ||
*大范圍:0.2~2L/min | |||
· 空氣在0°C,0Mpa(1atm)的流量。 · 選擇流量范圍時,請到官網(wǎng)下載中心下載本產(chǎn)品PDF,參照標(biāo)準(zhǔn)流量表。 · 如果氣體的使用壓力不為0MPa,請電話咨詢。 |
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有效刻度范圍 | 10:1 | ||
有效指示精度 | P-813:±3% F.S. | ||
P-812:±5% F.S. | |||
*高使用溫度 | 120℃ (使用FPM時) | ||
材質(zhì) | 本體接液部 | SCS14(標(biāo)準(zhǔn)), SUS316(亦可,詳情請咨詢) | |
錐管 | 耐熱玻璃 | ||
墊圈 | FPM(*高120℃) | ||
CR(*高80℃) | |||
本體側(cè)板 | SUS304 | ||
面板 | 透明PVC | ||
連接方式 | 標(biāo)準(zhǔn) | Rc1/4 | |
可選 | Rc1/8 | ||
NPT1/4 | |||
1/4SW, 3/8SW | |||
1/4VCR, 3/8VCR | |||
安裝方法 | 標(biāo)準(zhǔn) | 面板前安裝六角螺母 | |
可選 | 安裝遮光板 | ||
重量(標(biāo)準(zhǔn)型) | 約0.6kg(P-813) |