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進口美國博曼Bowman細(xì)線/晶圓測厚儀O系
產(chǎn)品型號： O系列
產(chǎn)品品牌：Bowman美國博曼
產(chǎn)品介紹：

美國博曼（Bowman）是高精度臺式鍍層測厚儀供應(yīng)商，擁有近40年的行業(yè)經(jīng)驗。博曼XRF系統(tǒng)搭載擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的鍍層檢測技術(shù)和先進的軟件系統(tǒng)，可精準(zhǔn)高效地分析金屬鍍件中元素厚度和成分。XRF系統(tǒng)可同時測量包含基材在內(nèi)的五層元素，其中任何兩層元素可以是合金。同時，博曼XRF系統(tǒng)也可以測量高熵合金HEAs博曼XRF鍍層測量系統(tǒng)滿足業(yè)界對精度，可靠性和易用性的嚴(yán)格要求。

詳細(xì)介紹

   O系列 結(jié)合了高性能和小的X射線光斑尺寸。 多毛細(xì)管聚焦光學(xué)系統(tǒng)可以取代標(biāo)準(zhǔn)Bowman系統(tǒng)中安裝的準(zhǔn)直儀組件，從而實現(xiàn)這一目標(biāo)。 光學(xué)器件旨在將來自管出口窗口的X射線聚焦到非常小的光斑尺寸（80μmFWHM），同時實際上保留100％的管通量。 因此，與準(zhǔn)直儀系統(tǒng)一樣，多毛細(xì)管光學(xué)組件不會使無法穿過小孔的X射線衰減，而是使來自管的幾乎所有X射線都能到達樣品。 結(jié)果對于測試非常小的組件或薄涂層的靈敏度更高。 與光學(xué)系統(tǒng)和類似尺寸的準(zhǔn)直儀相比，更短的測試時間可以實現(xiàn)更好的可重復(fù)性。

     該系列采用80μm毛細(xì)管光學(xué)結(jié)構(gòu)，同時配備可處理更高計數(shù)速率的高分辨率SDD硅漂移探測器。與 P系列其他型號相比，O系列的相機具有更大的放大倍數(shù)，55x視頻放大和7x數(shù)碼變焦。一個可編程的XY樣品臺也是標(biāo)準(zhǔn)配置。O系列的焦距非常接近，所以使用時樣品必須平整。

現(xiàn)在提供擴展階段選項

性能表現(xiàn)

鎳鈀金 化學(xué)鎳
微米金 微米鈀 微米鎳 微米NiP 微米％P
Ave 0.043 0.08 3.72 10.202 10.17
StdDev 0.0005 0.0009 0.00010 0.1089 0.29
范圍 0.0015 0.0030 0.040 0.3863 0.9900
%RSD 1.05% 1.13% 0.03% 1.07% 2.85%



產(chǎn)品規(guī)格

X射線管： 50 W Mo 靶，帶毛細(xì)管光學(xué)器件 @80um FWHM，17 KeV
探測器： 135eV分辨率的硅漂移探測器
分析層數(shù)
及元素數(shù)： 		5層（4層+基材） 每層可分析10種元素，成分分析*多可分析25種元素
濾波器/準(zhǔn)直器： 2位置一次濾波器
輸出焦深： 固定為0.1英寸（2.54毫米）
數(shù)字脈沖處理： 4096 多通道數(shù)字處理器，自動死時間和逃逸峰校正
計算機： 英特爾, 酷睿 i5 3470 處理器 (3.2GHz), 8GB DDR3 內(nèi)存, 微軟 Windows 10 專業(yè)版, 64位
相機： 1/4英寸（6毫米）CMOS-1280×720 VGA分辨率，雙攝像頭為250倍，單攝像頭為45倍，屏幕為15英寸
視頻放大倍率： 55X Micro 7X 數(shù)碼變焦
電源： 150W，100-240V，頻率范圍為47Hz至63Hz
工作環(huán)境： 溫度介于68°F（20°C）與77°F（25°C）之間，相對濕度小于98％，無冷凝
重量： 53kg
可編程XY平臺： 桌子尺寸：381mm（15“）x 340mm（13”）| 行程：152毫米（6英寸）x 127毫米（5英寸）
現(xiàn)在可用 擴展 舞臺選擇
樣品倉尺寸： 高度：140mm（5.5"），寬度：310mm（12"），深度：340mm（13"）
外形尺寸： 高度：450mm（18"），寬度：450mm（18"），深度：600mm（24"）


X射線管 G系列 B系列 P系列 L系列 K系列 O系列 M系列 W系列 一系列的
陽極靶材 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠
X射線照射方式 由下往上 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下
探測器
SDD硅漂移探測器 普通 普通 普通 普通 普通 普通 無 無 無
大窗口硅漂移探測器 可選 可選 可選 可選 可選 可選 普通 普通 普通
光斑尺寸
單個準(zhǔn)直器 普通 普通 無 無 無 無 無 無 無
多個準(zhǔn)直器 無 可選 普通 普通 普通 無 無 無 無
毛細(xì)管光學(xué)結(jié)構(gòu) 無 無 無 可選 即將推出！ 80um 15um 7.5um 7.5um
焦距
聚焦激光/自動聚焦 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通
單個固定焦距 普通 普通 無 無 無 普通  普通 普通 普通
可變焦距 無 可選 普通 普通 普通 無 無 無 無
視頻放大倍率
30X 微型 普通 普通 普通 普通 普通 無 無 無 無
55X 微型 可選 可選 可選 可選 可選 普通 無 無 無
140X 微型 無 無 無 無 無 無 普通 普通 普通
7倍數(shù)碼變焦 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通
9X 微距 無 無 無 無 無 無 普通 普通 普通
表格檢視 無 無 無 可選 可選 無 普通 普通 普通
平臺&外形尺寸
Z軸控制方式 自動表 自動表 自動表 自動表 自動表 自動表 自動表 可編程 可編程
Z軸行程 1" 5.2" 5.2" 10" 9" 5.2" 5.2" 3.9" 3.9"
基值 無 固定 可編程 可編程 可編程  可編程 可編程 可編程 可編程
標(biāo)準(zhǔn)XY行程 無 無 5 × 6" 10 × 10" 12 × 12"  5 × 6" 6.5 × 6.5" 12 × 16" 23 × 23"
可選XY行程 1.5 × 1.5" 無 10 × 10" 無 無  10 × 10" 無 無 無
可選的Max XY Travel 無 無 16 × 16" 無 無  16 × 16" 16 × 16" 無 無
平臺精度 無 無 0.0004" 0.0004" 0.0002" 0.0004" 0.0001" 40u” 40u”
樣品倉尺寸（高*寬*深） 4x13x12“ 5.5x12x13“ 5.5x12x13“ 11x22x24“ 24x24x9“ 5.5x12x13“ 5.4x12x13“ 4x29x36“ 4x55x58“
總重量
25kg 34kg 52-70kg 110kg 120kg 52-70kg 70kg 190kg 1000kg